一、日本HORIBA HE-480R 超純水電阻率計 產品概述
HE-480R 是日本 HORIBA(堀場)推出的面板安裝式超純水電阻率計,專為半導體、電子、食品、醫藥等行業的超純水系統設計。采用高精度溫度補償與 4 線式測量技術,可實現超純水電阻率的連續在線監測,是高純度水工藝中水質管理的核心設備。
二、核心性能與優勢
高精度溫度補償測量
內置高精度溫度補償算法,可消除溫度變化對電阻率測量的影響,確保不同工況下超純水純度數據的準確性,為工藝水質管理提供可靠依據。
4 線式測量技術
采用 4 線式測量方式,有效消除引線電阻帶來的測量誤差,大幅提升超純水低電導率場景下的測量精度,滿足高純度水監測的嚴苛要求。
多行業場景適配
以半導體領域為核心應用場景,同時適配電子、食品、制藥等行業制造工藝中超純水的連續監測,滿足不同行業的水質純度管理標準。
雙接點報警輸出
搭載 2 點接點輸出功能,可設置高低報警閾值,當超純水電阻率超出設定范圍時自動觸發報警,保障生產工藝穩定運行,降低水質異常帶來的風險。
寬電壓供電與工業設計
支持 AC100~240V 寬電壓供電,適配不同地區工業供電環境;標準 DIN 面板式安裝規格,便于集成到控制柜中,節省安裝空間,適配自動化控制系統。
三、主要技術參數
| 項目 | 規格詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | HORIBA HE-480R |
| 測量項目 | 電阻率(比電阻)、溫度 |
| 測量方式 | 4 線式 |
| 溫度補償 | 高精度自動溫度補償 |
| 報警輸出 | 2 點接點輸出 |
| 電源電壓 | AC100~240V |
| 安裝方式 | 面板安裝式 |
| 適用場景 | 半導體、食品、醫藥行業超純水監測 |
四、日本HORIBA HE-480R 超純水電阻率計 應用場景
半導體晶圓制造超純水系統在線監測
電子行業高純水制備工藝純度管理
食品、制藥行業工藝用超純水連續監控
實驗室超純水設備的在線純度檢測






